ULVAC 爱发科完善真空测量与配套耗材产品线，覆盖全区间真空工艺监测

近日，ULVAC 爱发科进一步丰富真空核心组件阵容，推出 WP‑01、WP‑02、WP‑03 皮拉尼真空规管，WIT‑G1‑15、WIT‑G1‑18 热阴极电离规测定子以及 Z‑300 高真空氟脂，实现从低真空到高真空的压力检测与腔体密封润滑一体化配套方案。

WP 系列皮拉尼规管适配 0.4‑3000Pa 低真空区间，模块化探头设计，可直接搭配主流真空控制器，支持快速更换，适配半导体刻蚀、锂电池真空干燥、真空热处理、镀膜设备粗抽段压力监控，抗复杂工况干扰，降低设备维护成本。WIT‑G1‑15、WIT‑G1‑18 电离规测定子提供 Φ15、Φ18 两种法兰接口，面向中高真空工况，响应速度快，气密性优异，保障溅射、等离子工艺压力数据稳定采集。

配套 Z‑300 高真空氟脂采用全氟聚醚基材，饱和蒸气压低，耐高温，可用于真空腔体法兰、阀门密封润滑，有效减少出气污染，避免工艺腔体杂质引入，适配严苛半导体及精密科研真空环境。

整套组件广泛服务于半导体、光学镀膜、锂电、真空冶金行业，帮助设备厂商简化选型，提升真空系统运行稳定性，减少制程不良，助力高端制造产线高效运转。