在半导体镀膜、精密热处理、科研检测等高端真空工艺领域,真空检测精度与耗材稳定性直接决定工艺良率。近期,ULVAC爱发科WP系列真空规管、WIT-G1系列测定子搭配Z-300高真空油的成套解决方案,凭借适配性强、运行稳定的优势,成为精密真空设备运维与配套升级的主流选择。
其中WP-01、WP-02、WP-03皮拉尼真空规管适配高低多段真空量程,搭载导热检测技术,响应速度快、测量数据精准,可满足工业量产与实验室检测的实时监测需求。WIT-G1-15、WIT-G1-18两款真空测定子配备15mm、18mm双规格接口,适配多类设备腔体,高灵敏度特性保障中高真空环境检测重复性。配套Z-300全氟聚醚高真空油耐受宽温区间,具备优异的密封润滑与抗挥发性能,适配无尘高真空工况。
整套ULVAC真空配套套件实现检测探头、测定耗材、真空润滑介质的全方位适配,有效降低真空设备泄漏、检测偏差等问题,延长设备使用寿命,稳定生产工艺参数,广泛应用于电子制造、精密镀膜、科研实验等场景,持续助力高端制造真空工艺提质增效。




