爱发科 ULVAC 推出高可靠真空测定子，赋能精密真空制程

行业新闻

爱发科 ULVAC 推出其成熟可靠的真空测定子系列，涵盖型号 WI-PA、M-11、M-34 及 M-36，面向半导体、镀膜设备及工业真空系统的真空压力监测场景。

该系列真空测定子采用紧凑型机械结构，测量性能稳定可靠。其中 M-11、M-34、M-36 为小型化设计，适用于设备腔体内部狭小空间安装，在连续制程运行下可保持读数一致性；WI-PA 支持宽量程压力检测，与 ULVAC 真空计控制器具有良好兼容性。

产品采用抗污染结构设计，可降低制程残留物导致的测量漂移风险，延长连续生产工况下的使用寿命。全系列符合 RoHS 要求，适用于设备原厂集成及现场替换场景。

该测定子系列可助力设备厂商维持精准的真空反馈，提升薄膜沉积及真空处理工艺的制程重复性。