ULVAC 爱发科多款真空计赋能精密真空制程监测

【行业资讯，2026‑08‑31】ULVAC 爱发科 IS‑BA1、GP‑H、SP1、SH2‑1 真空计，可为半导体、真空镀膜、热处理、锂电设备提供宽范围真空度检测解决方案。

IS‑BA1 输出信号稳定，适用于真空腔体压力采集；GP‑H 皮拉尼真空计主打中低真空测量，体积小巧，便于设备内置集成。SP1 一体式真空计集成传感与电路单元，支持模拟输出与双阈值报警，探头可替换，降低现场维护成本。SH2‑1 复合离子真空计量程覆盖大气压至高真空，多点信号输出可对接 PLC，实现工艺联动控制，适配严苛高真空生产场景。

产品均达到工业级可靠水准，拥有 CE 认证，助力设备厂商简化系统搭建，保障真空工艺稳定，提升产品良率。

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